產品分類
MPCVD設備
所屬分類：
化合物晶體設備
MPCVD設備
概要：
適用領域： ?單晶生長、多晶熱沉 Relevant Industries: Single Crystal Growth, Polycrystalline Heat Sink Fabrication 適用材料: ?Diamond Suitable for Processing: Diamond 晶圓尺寸: ?8/6/4/3/2英寸 Wafer Size: 8/6/4/3/2 inch
關鍵詞：
MPCVD
MPCVD設備
產品應用/Product Applications：
適用領域： 單晶生長、多晶熱沉 Relevant Industries: Single Crystal Growth, Polycrystalline Heat Sink Fabrication
適用材料: Diamond Suitable for Processing: Diamond
晶圓尺寸: 8/6/4/3/2英寸 Wafer Size: 8/6/4/3/2 inch
產品特點/Product characteristics
加熱方式：微波 Heating Method: Microwave
功率/頻率：6-15kW（2.45GHz），75kW（915GHz） Power/ Frequency: 6–15 kW ( 2.45 GHz), 75 kW (915 GHz)
偏壓（選配）:±300V Bias Voltage (Optional): ±300 V
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